晉昭公、晉頃公時期，六卿勢力更加強大，公室越發地微弱。頃公十一年，衛國、宋國派使者請求晉國發兵護送魯昭公回國。魯國的權臣季平子暗中賄賂六卿之一的范獻子，范獻子就對晉君進言說：「大王，魯國的臣子季氏沒有過錯，我們不應該去幫助魯昭公。」結果晉國就沒有答應衛、宋兩國的請求。第二年，晉國宗族祁奚的孫子與叔向的兒子在國君面前相互誹謗。六卿想要削弱公室，便強引刑法誅滅了兩人的宗族，把他們的封地分為十個縣，讓各自的兒子去做這些縣的長官。此後，晉國王室更加衰弱，六卿更加強大了。
晉定公十五年，六卿之一的趙鞅因為封地問題而擅自出兵討伐邯鄲大夫。同為六卿的中行氏、范氏因為與邯鄲大夫是親戚，所以他們便聯合進攻趙鞅。晉定公認為趙鞅的所作所為違背了禮儀，便親自率軍去圍攻他。而六卿中的智氏、韓氏、魏氏因為與范氏、中行氏有仇，便也藉機攻打他們。最後范氏、中行氏被擊敗，被迫逃到了外國。而智、韓、魏三家替趙氏向國君求情，趙鞅最終被赦免，恢復了原職。
晉出公時期，智、韓、魏、趙四家瓜分了范氏、中行氏的封地，把它作為自己的私邑。出公非常憤怒，認為他們擅自擴充實力，絲毫不把他這個國君放在眼裡，於是就想要依靠齊國、魯國的力量討伐這四卿。四卿擔心齊、魯兩國幫助出公，便先發制人，派兵攻打出公。出公只好逃往齊國，結果死在了路上。智伯曾經與昭公的孫子忌關係不錯，而忌很年輕就死了，智伯於是就擁立忌的兒子驕當上了國君，這就是晉哀公。此時，智伯獨攬晉國的大權，為完全吞併晉國做著準備。同時智伯的獨斷專行也引起了韓、趙、魏三家的不滿，他們便私下互相約定共同反對智伯。哀公四年，智伯被韓、趙、魏三家聯合殺死，其封地也被三家瓜分。韓、趙、魏三家自此被稱為三晉。
幽公在位時，由於害怕三晉勢力，竟然去朝拜三晉的宗主。此時的晉國國君只擁有絳城和曲沃兩個地方。晉烈公時期，三晉正式被周王冊封為諸侯。晉靜公二年，三晉將晉君轄有的最後的土地瓜分，靜公被貶為平民，晉國的祭祀從此斷絕了。